-0.2948% | 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 002371 | 北方华创 | 590.41 | 1.51 | 14.50 | 2530 |
| 2 | 688012 | 中微公司 | 513.91 | 2.72 | 12.62 | 1477 |
| 3 | 688981 | 中芯国际 | 492.34 | 5.20 | 12.09 | 2199 |
| 4 | 688041 | 海光信息 | 366.78 | 2.45 | 9.00 | 2253 |
| 5 | 603501 | 韦尔股份 | 241.19 | 2.31 | 5.92 | 1325 |
| 6 | 688120 | 华海清科 | 171.47 | 1.05 | 4.21 | 947 |
| 7 | 300346 | 南大光电 | 160.53 | 4.16 | 3.94 | 327 |
| 8 | 688072 | 拓荆科技 | 150.27 | 0.98 | 3.69 | 746 |
| 9 | 300604 | 长川科技 | 129.30 | 2.93 | 3.17 | 563 |
| 10 | 688361 | 中科飞测 | 120.07 | 1.37 | 2.95 | 829 |
| 11 | 688126 | 沪硅产业 | 109.46 | 5.82 | 2.69 | 494 |
| 12 | 688019 | 安集科技 | 105.90 | 0.76 | 2.60 | 947 |
| 13 | 688082 | 盛美上海 | 69.41 | 0.69 | 1.70 | 503 |
| 14 | 002436 | 兴森科技 | 67.66 | 6.09 | 1.66 | 298 |
| 15 | 002409 | 雅克科技 | 61.43 | 1.06 | 1.51 | 612 |
| 16 | 688234 | 天岳先进 | 61.02 | 1.19 | 1.50 | 356 |
| 17 | 688200 | 华峰测控 | 60.22 | 0.58 | 1.48 | 519 |
| 18 | 688037 | 芯源微 | 56.17 | 0.67 | 1.38 | 456 |
| 19 | 605358 | 立昂微 | 50.04 | 2.02 | 1.23 | 363 |
| 20 | 300666 | 江丰电子 | 43.75 | 0.63 | 1.07 | 516 |
| 21 | 688409 | 富创精密 | 34.27 | 0.66 | 0.84 | 349 |
| 22 | 603690 | 至纯科技 | 28.63 | 1.14 | 0.70 | 139 |
| 23 | 300236 | 上海新阳 | 28.40 | 0.76 | 0.70 | 185 |
| 24 | 300398 | 飞凯材料 | 23.01 | 1.46 | 0.56 | 120 |
| 25 | 600206 | 有研新材 | 22.25 | 1.42 | 0.55 | 96 |
| 26 | 688146 | 中船特气 | 14.43 | 0.50 | 0.35 | 212 |
| 27 | 600520 | 文一科技 | 14.03 | 0.46 | 0.34 | 30 |
| 28 | 688549 | 中巨芯 | 10.85 | 1.27 | 0.27 | 130 |
| 29 | 002119 | 康强电子 | 10.37 | 0.67 | 0.25 | 41 |
| 30 | 688548 | 广钢气体 | 10.35 | 1.03 | 0.25 | 298 |
| 31 | 300655 | 晶瑞电材 | 7.58 | 0.81 | 0.19 | 104 |
| 32 | 688233 | 神工股份 | 7.19 | 0.31 | 0.18 | 266 |
| 33 | 003026 | 中晶科技 | 6.93 | 0.21 | 0.17 | 25 |
| 34 | 603078 | 江化微 | 5.02 | 0.30 | 0.12 | 47 |
| 35 | 603061 | 金海通 | 3.60 | 0.05 | 0.09 | 96 |
| 36 | 688661 | 和林微纳 | 3.41 | 0.10 | 0.08 | 74 |
| 37 | 301369 | 联动科技 | 2.62 | 0.05 | 0.06 | 57 |
| 38 | 688328 | 深科达 | 1.74 | 0.12 | 0.04 | 114 |
| 39 | 688535 | 华海诚科 | 1.49 | 0.02 | 0.04 | 179 |
| 40 | 688478 | 晶升股份 | 1.13 | 0.04 | 0.03 | 77 |