2.8963% | 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 002371 | 北方华创 | 3,374.33 | 8.63 | 15.02 | 2530 |
| 2 | 688012 | 中微公司 | 3,034.26 | 16.04 | 13.51 | 1477 |
| 3 | 688981 | 中芯国际 | 2,860.84 | 30.24 | 12.73 | 2199 |
| 4 | 688041 | 海光信息 | 2,117.42 | 14.14 | 9.43 | 2253 |
| 5 | 603501 | 韦尔股份 | 1,351.74 | 12.95 | 6.02 | 1325 |
| 6 | 688120 | 华海清科 | 967.77 | 5.94 | 4.31 | 947 |
| 7 | 300346 | 南大光电 | 919.39 | 23.82 | 4.09 | 327 |
| 8 | 688072 | 拓荆科技 | 891.29 | 5.80 | 3.97 | 746 |
| 9 | 300604 | 长川科技 | 808.02 | 18.31 | 3.60 | 563 |
| 10 | 688361 | 中科飞测 | 702.51 | 8.02 | 3.13 | 829 |
| 11 | 688126 | 沪硅产业 | 647.33 | 34.40 | 2.88 | 494 |
| 12 | 688019 | 安集科技 | 527.44 | 3.78 | 2.35 | 947 |
| 13 | 002436 | 兴森科技 | 391.81 | 35.27 | 1.74 | 298 |
| 14 | 688234 | 天岳先进 | 367.61 | 7.18 | 1.64 | 356 |
| 15 | 688082 | 盛美上海 | 365.40 | 3.65 | 1.63 | 503 |
| 16 | 688200 | 华峰测控 | 354.09 | 3.39 | 1.58 | 519 |
| 17 | 002409 | 雅克科技 | 345.96 | 5.97 | 1.54 | 612 |
| 18 | 688037 | 芯源微 | 280.39 | 3.35 | 1.25 | 456 |
| 19 | 605358 | 立昂微 | 277.92 | 11.22 | 1.24 | 363 |
| 20 | 300666 | 江丰电子 | 266.69 | 3.84 | 1.19 | 516 |
| 21 | 300236 | 上海新阳 | 169.66 | 4.54 | 0.76 | 185 |
| 22 | 688409 | 富创精密 | 165.46 | 3.21 | 0.74 | 349 |
| 23 | 300398 | 飞凯材料 | 139.00 | 8.82 | 0.62 | 120 |
| 24 | 600206 | 有研新材 | 97.00 | 6.19 | 0.43 | 96 |
| 25 | 688146 | 中船特气 | 96.21 | 3.31 | 0.43 | 212 |
| 26 | 300655 | 晶瑞电材 | 72.37 | 7.73 | 0.32 | 104 |
| 27 | 603690 | 至纯科技 | 70.91 | 2.82 | 0.32 | 139 |
| 28 | 688548 | 广钢气体 | 69.64 | 6.92 | 0.31 | 298 |
| 29 | 002119 | 康强电子 | 42.57 | 2.75 | 0.19 | 41 |
| 30 | 688478 | 晶升股份 | 41.10 | 1.46 | 0.18 | 77 |
| 31 | 688661 | 和林微纳 | 40.82 | 1.24 | 0.18 | 74 |
| 32 | 603078 | 江化微 | 40.34 | 2.41 | 0.18 | 47 |
| 33 | 600520 | 文一科技 | 40.26 | 1.32 | 0.18 | 30 |
| 34 | 688549 | 中巨芯 | 38.49 | 4.52 | 0.17 | 130 |
| 35 | 688535 | 华海诚科 | 30.71 | 0.41 | 0.14 | 179 |
| 36 | 301369 | 联动科技 | 29.86 | 0.57 | 0.13 | 57 |
| 37 | 688233 | 神工股份 | 24.53 | 1.05 | 0.11 | 266 |
| 38 | 603061 | 金海通 | 22.34 | 0.31 | 0.10 | 96 |
| 39 | 003026 | 中晶科技 | 21.65 | 0.67 | 0.10 | 25 |
| 40 | 688328 | 深科达 | 10.14 | 0.68 | 0.05 | 114 |