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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 301421 | 波长光电 | 2,515.42 | 19.36 | 8.61 | 16 |
| 2 | 688502 | 茂莱光学 | 2,403.88 | 5.48 | 8.22 | 68 |
| 3 | 002222 | 福晶科技 | 2,343.01 | 47.14 | 8.02 | 95 |
| 4 | 688652 | 京仪装备 | 2,335.54 | 23.17 | 7.99 | 68 |
| 5 | 301392 | 汇成真空 | 2,333.84 | 13.48 | 7.99 | 44 |
| 6 | 688012 | 中微公司 | 2,258.33 | 7.55 | 7.73 | 642 |
| 7 | 688361 | 中科飞测 | 2,152.76 | 18.55 | 7.37 | 216 |
| 8 | 688372 | 伟测科技 | 1,586.20 | 17.80 | 5.43 | 89 |
| 9 | 688120 | 华海清科 | 1,397.34 | 8.46 | 4.78 | 224 |
| 10 | 688037 | 芯源微 | 1,383.45 | 9.28 | 4.73 | 207 |