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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 603986 | 兆易创新 | 757.95 | 0.93 | 5.94 | 2404 |
| 2 | 300223 | 北京君正 | 672.03 | 2.70 | 5.27 | 625 |
| 3 | 688126 | 沪硅产业 | 594.21 | 14.90 | 4.66 | 71 |
| 4 | 688008 | 澜起科技 | 591.63 | 1.91 | 4.64 | 1225 |
| 5 | 688147 | 微导纳米 | 527.79 | 3.26 | 4.14 | 134 |
| 6 | 605358 | 立昂微 | 512.16 | 6.60 | 4.02 | 139 |
| 7 | 920186 | 中科仪 | 498.14 | 4.34 | 3.91 | 1 |
| 8 | 688082 | 盛美上海 | 497.23 | 1.15 | 3.90 | 200 |
| 9 | 688072 | 拓荆科技 | 464.26 | 0.56 | 3.64 | 910 |
| 10 | 301392 | 汇成真空 | 406.98 | 1.41 | 3.19 | 69 |