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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 300604 | 长川科技 | 891.11 | 2.61 | 9.66 | 3101 |
| 2 | 688012 | 中微公司 | 741.73 | 1.58 | 8.04 | 3695 |
| 3 | 688347 | 华虹宏力 | 735.59 | 2.19 | 7.97 | 2259 |
| 4 | 688361 | 中科飞测 | 599.42 | 1.39 | 6.49 | 1730 |
| 5 | 688981 | 中芯国际 | 580.34 | 3.65 | 6.29 | 3360 |
| 6 | 688627 | 精智达 | 574.86 | 0.80 | 6.23 | 1213 |
| 7 | 688072 | 拓荆科技 | 558.77 | 0.64 | 6.05 | 2808 |
| 8 | 002371 | 北方华创 | 459.97 | 0.52 | 4.98 | 3614 |
| 9 | 300666 | 江丰电子 | 398.09 | 1.08 | 4.31 | 1492 |
| 10 | 300054 | 鼎龙股份 | 373.01 | 3.52 | 4.04 | 1656 |
| 11 | 688008 | 澜起科技 | 367.63 | 1.19 | 3.98 | 3170 |
| 12 | 688120 | 华海清科 | 326.56 | 1.01 | 3.54 | 1727 |
| 13 | 688200 | 华峰测控 | 269.59 | 0.51 | 2.92 | 1636 |
| 14 | 688146 | 中船特气 | 259.31 | 0.74 | 2.81 | 604 |
| 15 | 300236 | 上海新阳 | 235.39 | 1.79 | 2.55 | 699 |
| 16 | 688545 | 兴福电子 | 186.71 | 1.40 | 2.02 | 519 |
| 17 | 688126 | 沪硅产业 | 122.23 | 3.06 | 1.32 | 1076 |
| 18 | 301611 | 珂玛科技 | 84.63 | 0.47 | 0.92 | 929 |
| 19 | 688082 | 盛美上海 | 53.70 | 0.12 | 0.58 | 1329 |