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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 688037 | 芯源微 | 1,201.69 | 8.07 | 7.86 | 207 |
| 2 | 300604 | 长川科技 | 1,162.57 | 11.67 | 7.61 | 174 |
| 3 | 688072 | 拓荆科技 | 1,151.61 | 4.43 | 7.54 | 305 |
| 4 | 688012 | 中微公司 | 1,142.32 | 3.82 | 7.48 | 642 |
| 5 | 688361 | 中科飞测 | 1,120.48 | 9.66 | 7.33 | 216 |
| 6 | 002371 | 北方华创 | 1,089.28 | 2.41 | 7.13 | 785 |
| 7 | 688409 | 富创精密 | 980.93 | 13.21 | 6.42 | 45 |
| 8 | 688347 | 华虹公司 | 884.20 | 7.72 | 5.79 | 282 |
| 9 | 688403 | 汇成股份 | 758.90 | 39.22 | 4.97 | 37 |
| 10 | 688200 | 华峰测控 | 746.98 | 3.59 | 4.89 | 70 |