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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 688037 | 芯源微 | 1,865.47 | 12.52 | 9.77 | 207 |
| 2 | 688012 | 中微公司 | 1,843.90 | 6.17 | 9.66 | 642 |
| 3 | 688502 | 茂莱光学 | 1,839.41 | 4.19 | 9.63 | 68 |
| 4 | 301392 | 汇成真空 | 1,819.60 | 10.51 | 9.53 | 44 |
| 5 | 688072 | 拓荆科技 | 1,798.62 | 6.91 | 9.42 | 305 |
| 6 | 688361 | 中科飞测 | 1,713.76 | 14.77 | 8.98 | 216 |
| 7 | 301421 | 波长光电 | 1,587.99 | 12.22 | 8.32 | 16 |
| 8 | 002222 | 福晶科技 | 1,521.32 | 30.61 | 7.97 | 95 |
| 9 | 002338 | 奥普光电 | 1,058.45 | 18.36 | 5.54 | 12 |
| 10 | 300706 | 阿石创 | 954.50 | 23.00 | 5.00 | 11 |