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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 002371 | 北方华创 | 904.02 | 1.02 | 9.80 | 1787 |
| 2 | 300308 | 中际旭创 | 863.60 | 0.68 | 9.37 | 4923 |
| 3 | 688037 | 芯源微 | 756.57 | 1.72 | 8.20 | 414 |
| 4 | 688200 | 华峰测控 | 731.10 | 1.39 | 7.93 | 518 |
| 5 | 688361 | 中科飞测 | 694.84 | 1.62 | 7.54 | 596 |
| 6 | 688012 | 中微公司 | 683.87 | 1.46 | 7.42 | 1661 |
| 7 | 601138 | 工业富联 | 665.22 | 9.22 | 7.21 | 650 |
| 8 | 688630 | 芯碁微装 | 628.94 | 1.14 | 6.82 | 459 |
| 9 | 300604 | 长川科技 | 614.56 | 1.80 | 6.66 | 1160 |
| 10 | 00981 | 中芯国际 | 602.68 | 7.76 | 6.54 | 1243 |