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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 688120 | 华海清科 | 269.23 | 1.79 | 8.62 | 147 |
| 2 | 688072 | 拓荆科技 | 261.99 | 0.79 | 8.39 | 497 |
| 3 | 301611 | 珂玛科技 | 256.33 | 2.99 | 8.21 | 42 |
| 4 | 688361 | 中科飞测 | 252.77 | 1.65 | 8.09 | 291 |
| 5 | 688037 | 芯源微 | 199.85 | 1.35 | 6.40 | 194 |
| 6 | 688019 | 安集科技 | 196.52 | 0.90 | 6.29 | 175 |
| 7 | 300054 | 鼎龙股份 | 196.27 | 5.22 | 6.28 | 116 |
| 8 | 688147 | 微导纳米 | 190.25 | 3.03 | 6.09 | 39 |
| 9 | 688200 | 华峰测控 | 188.41 | 0.99 | 6.03 | 114 |
| 10 | 688300 | 联瑞新材 | 188.13 | 3.03 | 6.02 | 20 |