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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 002371 | 北方华创 | 429.74 | 0.95 | 9.51 | 785 |
| 2 | 688012 | 中微公司 | 388.69 | 1.30 | 8.61 | 642 |
| 3 | 300604 | 长川科技 | 357.64 | 3.59 | 7.92 | 174 |
| 4 | 688256 | 寒武纪 | 344.50 | 0.26 | 7.63 | 1564 |
| 5 | 688981 | 中芯国际 | 275.85 | 1.97 | 6.11 | 1003 |
| 6 | 688126 | 沪硅产业 | 275.54 | 10.68 | 6.10 | 59 |
| 7 | 688361 | 中科飞测 | 208.85 | 1.80 | 4.62 | 216 |
| 8 | 603690 | 至纯科技 | 207.13 | 6.78 | 4.59 | 4 |
| 9 | 003026 | 中晶科技 | 191.44 | 5.07 | 4.24 | 2 |
| 10 | 300655 | 晶瑞电材 | 184.20 | 12.00 | 4.08 | 4 |