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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 688120 | 华海清科 | 13,450.64 | 77.30 | 8.04 | 208 |
| 2 | 002371 | 北方华创 | 13,070.28 | 29.24 | 7.81 | 825 |
| 3 | 300661 | 圣邦股份 | 12,886.90 | 190.55 | 7.70 | 91 |
| 4 | 688012 | 中微公司 | 12,597.92 | 41.12 | 7.53 | 824 |
| 5 | 300567 | 精测电子 | 11,576.97 | 92.10 | 6.92 | 142 |
| 6 | 300308 | 中际旭创 | 10,431.59 | 18.32 | 6.24 | 3306 |
| 7 | 688052 | 纳芯微 | 10,303.21 | 69.67 | 6.16 | 76 |
| 8 | 300502 | 新易盛 | 10,180.85 | 22.99 | 6.09 | 2629 |
| 9 | 688627 | 精智达 | 9,880.46 | 43.38 | 5.91 | 109 |
| 10 | 688361 | 中科飞测 | 9,535.50 | 62.71 | 5.70 | 216 |