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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 688361 | 中科飞测 | 26,921.14 | 62.61 | 8.60 | 596 |
| 2 | 688072 | 拓荆科技 | 26,227.85 | 29.82 | 8.38 | 910 |
| 3 | 688012 | 中微公司 | 25,800.58 | 55.07 | 8.24 | 1661 |
| 4 | 002371 | 北方华创 | 25,670.55 | 29.02 | 8.20 | 1787 |
| 5 | 688981 | 中芯国际 | 17,471.90 | 110.01 | 5.58 | 1445 |
| 6 | 301269 | 华大九天 | 16,361.30 | 137.01 | 5.23 | 21 |
| 7 | 688627 | 精智达 | 15,729.14 | 22.00 | 5.03 | 335 |
| 8 | 688037 | 芯源微 | 15,156.36 | 34.52 | 4.84 | 414 |
| 9 | 688120 | 华海清科 | 13,838.50 | 42.95 | 4.42 | 498 |
| 10 | 688347 | 华虹宏力 | 13,808.81 | 41.06 | 4.41 | 855 |