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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 688981 | 中芯国际 | 24,212.29 | 172.78 | 8.45 | 1003 |
| 2 | 688072 | 拓荆科技 | 23,982.95 | 92.18 | 8.37 | 305 |
| 3 | 688361 | 中科飞测 | 23,919.14 | 206.15 | 8.34 | 216 |
| 4 | 688012 | 中微公司 | 23,611.03 | 78.97 | 8.24 | 642 |
| 5 | 002371 | 北方华创 | 22,414.75 | 49.55 | 7.82 | 785 |
| 6 | 301269 | 华大九天 | 20,105.10 | 159.19 | 7.01 | 40 |
| 7 | 688502 | 茂莱光学 | 19,984.51 | 45.52 | 6.97 | 68 |
| 8 | 600895 | 张江高科 | 16,406.42 | 298.57 | 5.72 | 32 |
| 9 | 688037 | 芯源微 | 15,862.60 | 106.46 | 5.53 | 207 |
| 10 | 688126 | 沪硅产业 | 14,729.90 | 570.93 | 5.14 | 59 |