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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 688037 | 芯源微 | 12,721.37 | 85.66 | 9.94 | 194 |
| 2 | 688361 | 中科飞测 | 12,476.33 | 81.55 | 9.75 | 291 |
| 3 | 688012 | 中微公司 | 12,399.88 | 43.70 | 9.69 | 703 |
| 4 | 688502 | 茂莱光学 | 12,270.79 | 30.75 | 9.59 | 59 |
| 5 | 688072 | 拓荆科技 | 12,134.10 | 36.77 | 9.48 | 497 |
| 6 | 002222 | 福晶科技 | 11,380.68 | 202.00 | 8.89 | 134 |
| 7 | 301421 | 波长光电 | 9,529.73 | 91.50 | 7.45 | 10 |
| 8 | 301392 | 汇成真空 | 8,516.64 | 66.00 | 6.66 | 20 |
| 9 | 301021 | 英诺激光 | 6,665.05 | 137.00 | 5.21 | 12 |
| 10 | 688195 | 腾景科技 | 6,461.55 | 38.11 | 5.05 | 78 |