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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 688037 | 芯源微 | 11,873.36 | 36.28 | 9.81 | 407 |
| 2 | 688361 | 中科飞测 | 11,869.06 | 34.00 | 9.81 | 679 |
| 3 | 688502 | 茂莱光学 | 11,792.76 | 29.19 | 9.74 | 46 |
| 4 | 002222 | 福晶科技 | 10,430.08 | 172.00 | 8.62 | 80 |
| 5 | 301392 | 汇成真空 | 9,634.30 | 65.00 | 7.96 | 53 |
| 6 | 688809 | 强一股份 | 8,306.88 | 17.00 | 6.86 | 88 |
| 7 | 300567 | 精测电子 | 8,189.34 | 44.50 | 6.77 | 179 |
| 8 | 300260 | 新莱应材 | 7,131.64 | 131.00 | 5.89 | 47 |
| 9 | 688103 | 国力电子 | 6,458.30 | 85.00 | 5.34 | 20 |
| 10 | 301021 | 英诺激光 | 6,364.75 | 83.33 | 5.26 | 32 |