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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 688072 | 拓荆科技 | 7,533.67 | 28.96 | 9.94 | 305 |
| 2 | 688037 | 芯源微 | 7,476.02 | 50.17 | 9.86 | 207 |
| 3 | 688120 | 华海清科 | 7,421.02 | 44.92 | 9.79 | 224 |
| 4 | 688596 | 正帆科技 | 7,365.56 | 169.83 | 9.71 | 40 |
| 5 | 688012 | 中微公司 | 7,155.37 | 23.93 | 9.44 | 642 |
| 6 | 002371 | 北方华创 | 7,115.94 | 15.73 | 9.38 | 785 |
| 7 | 688409 | 富创精密 | 7,083.59 | 95.36 | 9.34 | 45 |
| 8 | 300666 | 江丰电子 | 6,880.29 | 67.52 | 9.07 | 18 |
| 9 | 300260 | 新莱应材 | 6,052.69 | 132.56 | 7.98 | 17 |
| 10 | 688361 | 中科飞测 | 5,043.75 | 43.47 | 6.65 | 216 |