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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 688072 | 拓荆科技 | 6,093.70 | 23.42 | 10.00 | 305 |
| 2 | 688120 | 华海清科 | 6,021.56 | 36.45 | 9.88 | 224 |
| 3 | 688037 | 芯源微 | 5,895.19 | 39.57 | 9.67 | 207 |
| 4 | 002371 | 北方华创 | 5,786.36 | 12.79 | 9.49 | 785 |
| 5 | 688596 | 正帆科技 | 5,726.02 | 132.03 | 9.39 | 40 |
| 6 | 300666 | 江丰电子 | 5,670.92 | 55.65 | 9.30 | 18 |
| 7 | 688012 | 中微公司 | 5,596.05 | 18.72 | 9.18 | 642 |
| 8 | 688409 | 富创精密 | 4,997.31 | 67.28 | 8.20 | 45 |
| 9 | 300260 | 新莱应材 | 4,086.75 | 89.50 | 6.70 | 17 |
| 10 | 688361 | 中科飞测 | 4,026.29 | 34.70 | 6.61 | 216 |