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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 688200 | 华峰测控 | 1,986.35 | 3.78 | 9.40 | 1636 |
| 2 | 688652 | 京仪装备 | 1,920.79 | 9.60 | 9.09 | 798 |
| 3 | 688037 | 芯源微 | 1,876.10 | 4.27 | 8.88 | 1381 |
| 4 | 688012 | 中微公司 | 1,863.97 | 3.98 | 8.82 | 3695 |
| 5 | 300604 | 长川科技 | 1,847.08 | 5.41 | 8.74 | 3101 |
| 6 | 688630 | 芯碁微装 | 1,842.71 | 3.35 | 8.72 | 1721 |
| 7 | 688041 | 海光信息 | 1,695.97 | 4.58 | 8.03 | 4408 |
| 8 | 688072 | 拓荆科技 | 1,684.56 | 1.92 | 7.97 | 2808 |
| 9 | 688536 | 思瑞浦 | 1,141.42 | 3.14 | 5.40 | 1169 |
| 10 | 300820 | 英杰电气 | 905.01 | 10.03 | 4.28 | 349 |
| 11 | 688521 | 芯原股份 | 857.33 | 2.31 | 4.06 | 2538 |
| 12 | 300661 | 圣邦股份 | 781.97 | 5.45 | 3.70 | 2201 |
| 13 | 300054 | 鼎龙股份 | 373.01 | 3.52 | 1.77 | 1656 |
| 14 | 00700 | 腾讯控股 | 321.04 | 0.86 | 1.52 | 2001 |
| 15 | 688629 | 华丰科技 | 249.39 | 1.33 | 1.18 | 941 |
| 16 | 688820 | 盛合晶微 | 2.86 | 0.02 | 0.01 | 4491 |
| 17 | 688797 | 臻宝科技 | 2.34 | 0.01 | 0.01 | 4660 |
| 18 | 688635 | 长进光子 | 2.19 | 0.01 | 0.01 | 4227 |
| 19 | 688811 | 有研复材 | 1.07 | 0.04 | 0.01 | 4080 |