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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 300666 | 江丰电子 | 452.47 | 3.25 | 7.91 | 152 |
| 2 | 688072 | 拓荆科技 | 428.87 | 1.16 | 7.50 | 645 |
| 3 | 688409 | 富创精密 | 423.16 | 4.70 | 7.40 | 73 |
| 4 | 688361 | 中科飞测 | 405.81 | 2.67 | 7.10 | 216 |
| 5 | 688019 | 安集科技 | 387.83 | 1.55 | 6.78 | 222 |
| 6 | 688037 | 芯源微 | 373.84 | 2.23 | 6.54 | 181 |
| 7 | 01347 | 华虹半导体 | 365.11 | 5.33 | 6.39 | 203 |
| 8 | 688630 | 芯碁微装 | 364.87 | 1.89 | 6.38 | 159 |
| 9 | 002371 | 北方华创 | 357.60 | 0.80 | 6.25 | 825 |
| 10 | 688200 | 华峰测控 | 345.00 | 1.31 | 6.03 | 188 |