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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 688037 | 芯源微 | 8,552.41 | 57.59 | 9.78 | 194 |
| 2 | 688072 | 拓荆科技 | 7,930.99 | 24.03 | 9.07 | 497 |
| 3 | 688012 | 中微公司 | 7,286.98 | 25.68 | 8.33 | 703 |
| 4 | 002371 | 北方华创 | 6,974.34 | 15.19 | 7.98 | 862 |
| 5 | 688361 | 中科飞测 | 6,836.16 | 44.68 | 7.82 | 291 |
| 6 | 300308 | 中际旭创 | 6,200.04 | 10.16 | 7.09 | 3185 |
| 7 | 688120 | 华海清科 | 4,609.92 | 30.72 | 5.27 | 147 |
| 8 | 688498 | 源杰科技 | 4,470.88 | 6.96 | 5.11 | 439 |
| 9 | 688256 | 寒武纪 | 4,177.53 | 3.08 | 4.78 | 1831 |
| 10 | 300502 | 新易盛 | 3,964.10 | 9.20 | 4.53 | 2457 |