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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 688041 | 海光信息 | 4,002.40 | 19.04 | 7.97 | 1056 |
| 2 | 688072 | 拓荆科技 | 3,950.12 | 10.68 | 7.87 | 645 |
| 3 | 688981 | 中芯国际 | 3,637.75 | 38.68 | 7.25 | 577 |
| 4 | 688012 | 中微公司 | 3,049.06 | 9.95 | 6.07 | 824 |
| 5 | 300661 | 圣邦股份 | 2,491.49 | 36.84 | 4.96 | 91 |
| 6 | 688630 | 芯碁微装 | 2,386.36 | 12.34 | 4.75 | 159 |
| 7 | 002371 | 北方华创 | 2,317.02 | 5.18 | 4.62 | 825 |
| 8 | 688347 | 华虹公司 | 2,266.79 | 21.41 | 4.52 | 185 |
| 9 | 688200 | 华峰测控 | 2,024.32 | 7.70 | 4.03 | 188 |
| 10 | 688652 | 京仪装备 | 1,932.62 | 19.34 | 3.85 | 51 |