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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 688072 | 拓荆科技 | 1,637.10 | 4.42 | 5.62 | 645 |
| 2 | 688120 | 华海清科 | 1,583.75 | 9.10 | 5.44 | 208 |
| 3 | 688012 | 中微公司 | 1,548.02 | 5.05 | 5.32 | 824 |
| 4 | 002371 | 北方华创 | 1,425.93 | 3.19 | 4.90 | 825 |
| 5 | 688037 | 芯源微 | 1,398.84 | 8.35 | 4.81 | 181 |
| 6 | 300567 | 精测电子 | 1,388.99 | 11.05 | 4.77 | 142 |
| 7 | 688361 | 中科飞测 | 1,344.13 | 8.97 | 4.62 | 216 |
| 8 | 01347 | 华虹半导体 | 1,288.95 | 18.80 | 4.43 | 203 |
| 9 | 688041 | 海光信息 | 1,232.25 | 5.86 | 4.23 | 1056 |
| 10 | 688409 | 富创精密 | 1,205.02 | 13.37 | 4.14 | 73 |
| 11 | 688347 | 华虹公司 | 537.86 | 5.08 | 1.85 | 185 |