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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 002371 | 北方华创 | 2,378.76 | 5.32 | 8.13 | 825 |
| 2 | 688002 | 睿创微纳 | 2,001.82 | 19.78 | 6.84 | 377 |
| 3 | 300308 | 中际旭创 | 1,873.36 | 3.29 | 6.40 | 3306 |
| 4 | 688120 | 华海清科 | 1,546.70 | 8.89 | 5.29 | 208 |
| 5 | 300502 | 新易盛 | 1,377.23 | 3.11 | 4.71 | 2629 |
| 6 | 002463 | 沪电股份 | 1,358.80 | 17.89 | 4.64 | 541 |
| 7 | 688361 | 中科飞测 | 1,337.45 | 8.80 | 4.57 | 216 |
| 8 | 688041 | 海光信息 | 1,322.58 | 6.29 | 4.52 | 1056 |
| 9 | 688037 | 芯源微 | 1,285.00 | 7.67 | 4.39 | 181 |
| 10 | 688766 | 普冉股份 | 1,205.46 | 5.35 | 4.12 | 118 |