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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 688072 | 拓荆科技 | 257.78 | 0.70 | 8.91 | 645 |
| 2 | 688120 | 华海清科 | 253.33 | 1.46 | 8.76 | 208 |
| 3 | 688361 | 中科飞测 | 219.97 | 1.45 | 7.60 | 216 |
| 4 | 301269 | 华大九天 | 117.62 | 1.45 | 4.07 | 16 |
| 5 | 920522 | 纳科诺尔 | 114.86 | 2.42 | 3.97 | 123 |
| 6 | 301392 | 汇成真空 | 110.57 | 1.04 | 3.82 | 31 |
| 7 | 688275 | 万润新能 | 109.46 | 1.02 | 3.78 | 12 |
| 8 | 688348 | 昱能科技 | 107.13 | 1.85 | 3.70 | 2 |
| 9 | 688063 | 派能科技 | 106.27 | 1.43 | 3.67 | 28 |
| 10 | 688680 | 海优新材 | 105.56 | 2.27 | 3.65 | 8 |