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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 688361 | 中科飞测 | 349.20 | 0.81 | 9.92 | 1730 |
| 2 | 688037 | 芯源微 | 342.81 | 0.78 | 9.74 | 1381 |
| 3 | 688072 | 拓荆科技 | 323.84 | 0.37 | 9.20 | 2808 |
| 4 | 688120 | 华海清科 | 312.48 | 0.97 | 8.88 | 1727 |
| 5 | 688041 | 海光信息 | 304.61 | 0.82 | 8.65 | 4408 |
| 6 | 688630 | 芯碁微装 | 206.46 | 0.38 | 5.87 | 1721 |
| 7 | 688502 | 茂莱光学 | 152.25 | 0.22 | 4.33 | 369 |
| 8 | 688233 | 神工股份 | 151.27 | 0.71 | 4.30 | 783 |
| 9 | 301611 | 珂玛科技 | 145.86 | 0.81 | 4.14 | 929 |
| 10 | 688627 | 精智达 | 141.14 | 0.20 | 4.01 | 1213 |
| 11 | 002409 | 雅克科技 | 139.19 | 0.62 | 3.95 | 941 |
| 12 | 688172 | 燕东微 | 137.69 | 1.65 | 3.91 | 886 |
| 13 | 688403 | 汇成股份 | 136.87 | 3.45 | 3.89 | 577 |
| 14 | 688026 | 洁特生物 | 134.86 | 8.58 | 3.83 | 169 |
| 15 | 688652 | 京仪装备 | 129.25 | 0.65 | 3.67 | 798 |
| 16 | 688082 | 盛美上海 | 121.09 | 0.28 | 3.44 | 1329 |