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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 688012 | 中微公司 | 2,817.64 | 9.93 | 10.23 | 703 |
| 2 | 688037 | 芯源微 | 2,732.58 | 18.40 | 9.92 | 194 |
| 3 | 688502 | 茂莱光学 | 2,725.51 | 6.83 | 9.89 | 59 |
| 4 | 688361 | 中科飞测 | 2,680.38 | 17.52 | 9.73 | 291 |
| 5 | 688072 | 拓荆科技 | 2,653.20 | 8.04 | 9.63 | 497 |
| 6 | 002222 | 福晶科技 | 2,453.61 | 43.55 | 8.91 | 134 |
| 7 | 301421 | 波长光电 | 2,048.63 | 19.67 | 7.44 | 10 |
| 8 | 301392 | 汇成真空 | 1,748.49 | 13.55 | 6.35 | 20 |
| 9 | 688195 | 腾景科技 | 1,449.65 | 8.55 | 5.26 | 78 |
| 10 | 301021 | 英诺激光 | 1,437.61 | 29.55 | 5.22 | 12 |