1.1027% | 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 688012 | 中微公司 | 2,817.64 | 9.93 | 10.23 | 2427 |
| 2 | 688037 | 芯源微 | 2,732.58 | 18.40 | 9.92 | 803 |
| 3 | 688502 | 茂莱光学 | 2,725.51 | 6.83 | 9.89 | 359 |
| 4 | 688361 | 中科飞测 | 2,680.38 | 17.52 | 9.73 | 1106 |
| 5 | 688072 | 拓荆科技 | 2,653.20 | 8.04 | 9.63 | 1784 |
| 6 | 002222 | 福晶科技 | 2,453.61 | 43.55 | 8.91 | 830 |
| 7 | 301421 | 波长光电 | 2,048.63 | 19.67 | 7.44 | 134 |
| 8 | 301392 | 汇成真空 | 1,748.49 | 13.55 | 6.35 | 223 |
| 9 | 688195 | 腾景科技 | 1,449.65 | 8.55 | 5.26 | 366 |
| 10 | 301021 | 英诺激光 | 1,437.61 | 29.55 | 5.22 | 131 |
| 11 | 603800 | 洪田股份 | 1,110.49 | 22.77 | 4.03 | 98 |
| 12 | 301183 | 东田微 | 525.76 | 3.39 | 1.91 | 170 |
| 13 | 688205 | 德科立 | 274.96 | 2.00 | 1.00 | 481 |
| 14 | 688802 | 沐曦股份 | 26.60 | 0.07 | 0.10 | 3606 |
| 15 | 688783 | 西安奕材 | 18.21 | 0.99 | 0.07 | 2878 |
| 16 | 688790 | 昂瑞微 | 8.49 | 0.07 | 0.03 | 3195 |
| 17 | 688759 | 必贝特 | 5.69 | 0.23 | 0.02 | 3082 |
| 18 | 301656 | 联合动力 | 2.71 | 0.11 | 0.01 | 3889 |
| 19 | 688809 | 强一股份 | 1.52 | 0.01 | 0.01 | 3947 |
| 20 | 301563 | 云汉芯城 | 1.47 | 0.01 | 0.01 | 4341 |
| 21 | 301584 | 建发致新 | 1.20 | 0.04 | 0.00 | 4100 |
| 22 | 301687 | 新广益 | 1.06 | 0.02 | 0.00 | 4401 |
| 23 | 688796 | 百奥赛图 | 0.99 | 0.02 | 0.00 | 3941 |
| 24 | 301667 | 纳百川 | 0.86 | 0.02 | 0.00 | 4230 |
| 25 | 688805 | 健信超导 | 0.86 | 0.03 | 0.00 | 3634 |
| 26 | 301668 | 昊创瑞通 | 0.74 | 0.02 | 0.00 | 4113 |
| 27 | 301575 | 艾芬达 | 0.62 | 0.01 | 0.00 | 3825 |