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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 688037 | 芯源微 | 4,226.68 | 28.37 | 9.89 | 207 |
| 2 | 688502 | 茂莱光学 | 4,161.63 | 9.48 | 9.74 | 68 |
| 3 | 688072 | 拓荆科技 | 4,118.65 | 15.83 | 9.63 | 305 |
| 4 | 301392 | 汇成真空 | 4,113.57 | 23.76 | 9.62 | 44 |
| 5 | 688012 | 中微公司 | 4,027.40 | 13.47 | 9.42 | 642 |
| 6 | 688361 | 中科飞测 | 4,010.90 | 34.57 | 9.38 | 216 |
| 7 | 002222 | 福晶科技 | 3,418.86 | 68.79 | 8.00 | 95 |
| 8 | 301421 | 波长光电 | 3,182.48 | 24.49 | 7.44 | 16 |
| 9 | 002338 | 奥普光电 | 2,399.97 | 41.63 | 5.61 | 12 |
| 10 | 300706 | 阿石创 | 2,172.11 | 52.34 | 5.08 | 11 |