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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 688072 | 拓荆科技 | 3,846.27 | 6.01 | 9.18 | 812 |
| 2 | 688361 | 中科飞测 | 3,839.99 | 11.00 | 9.16 | 679 |
| 3 | 688082 | 盛美上海 | 3,825.64 | 13.00 | 9.13 | 167 |
| 4 | 688012 | 中微公司 | 3,822.60 | 12.00 | 9.12 | 1270 |
| 5 | 688785 | 恒运昌 | 3,811.28 | 11.00 | 9.09 | 36 |
| 6 | 688835 | 高凯技术 | 3,748.28 | 11.01 | 8.94 | 100 |
| 7 | 688409 | 富创精密 | 3,742.20 | 22.00 | 8.93 | 195 |
| 8 | 688120 | 华海清科 | 3,638.88 | 16.00 | 8.68 | 409 |
| 9 | 688037 | 芯源微 | 3,599.97 | 11.00 | 8.59 | 407 |
| 10 | 688596 | 正帆科技 | 3,475.80 | 60.00 | 8.29 | 103 |