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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 688012 | 中微公司 | 161.45 | 0.54 | 0.37 | 642 |
| 2 | 002371 | 北方华创 | 135.71 | 0.30 | 0.31 | 785 |
| 3 | 688126 | 沪硅产业 | 54.18 | 2.10 | 0.12 | 59 |
| 4 | 300604 | 长川科技 | 53.79 | 0.54 | 0.12 | 174 |
| 5 | 688120 | 华海清科 | 49.56 | 0.30 | 0.11 | 224 |
| 6 | 688072 | 拓荆科技 | 46.83 | 0.18 | 0.11 | 305 |
| 7 | 300346 | 南大光电 | 36.47 | 0.84 | 0.08 | 32 |
| 8 | 688361 | 中科飞测 | 34.81 | 0.30 | 0.08 | 216 |
| 9 | 688019 | 安集科技 | 27.41 | 0.12 | 0.06 | 220 |
| 10 | 688037 | 芯源微 | 26.82 | 0.18 | 0.06 | 207 |