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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 688037 | 芯源微 | 14,901.89 | 100.01 | 9.90 | 207 |
| 2 | 688502 | 茂莱光学 | 14,638.46 | 33.35 | 9.73 | 68 |
| 3 | 688012 | 中微公司 | 14,590.98 | 48.80 | 9.70 | 642 |
| 4 | 688072 | 拓荆科技 | 14,388.97 | 55.30 | 9.56 | 305 |
| 5 | 301392 | 汇成真空 | 14,329.97 | 82.77 | 9.52 | 44 |
| 6 | 688361 | 中科飞测 | 14,086.67 | 121.41 | 9.36 | 216 |
| 7 | 301421 | 波长光电 | 12,995.00 | 100.00 | 8.63 | 16 |
| 8 | 002222 | 福晶科技 | 11,977.70 | 241.00 | 7.96 | 95 |
| 9 | 002338 | 奥普光电 | 8,128.65 | 141.00 | 5.40 | 12 |
| 10 | 300706 | 阿石创 | 7,428.50 | 179.00 | 4.94 | 11 |