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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 688012 | 中微公司 | 2,232.80 | 7.47 | 2.75 | 642 |
| 2 | 002371 | 北方华创 | 1,436.79 | 3.18 | 1.77 | 785 |
| 3 | 688126 | 沪硅产业 | 765.04 | 29.65 | 0.94 | 59 |
| 4 | 688120 | 华海清科 | 689.08 | 4.17 | 0.85 | 224 |
| 5 | 688072 | 拓荆科技 | 655.65 | 2.52 | 0.81 | 305 |
| 6 | 300604 | 长川科技 | 632.59 | 6.35 | 0.78 | 174 |
| 7 | 688019 | 安集科技 | 575.67 | 2.52 | 0.71 | 220 |
| 8 | 688037 | 芯源微 | 500.64 | 3.36 | 0.62 | 207 |
| 9 | 688361 | 中科飞测 | 483.97 | 4.17 | 0.60 | 216 |
| 10 | 300346 | 南大光电 | 406.85 | 9.37 | 0.50 | 32 |