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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 688012 | 中微公司 | 3,279.50 | 7.00 | 0.39 | 1661 |
| 2 | 688361 | 中科飞测 | 1,075.00 | 2.50 | 0.13 | 596 |
| 3 | 688120 | 华海清科 | 964.74 | 2.99 | 0.11 | 498 |
| 4 | 688200 | 华峰测控 | 787.65 | 1.50 | 0.09 | 518 |
| 5 | 688037 | 芯源微 | 658.58 | 1.50 | 0.08 | 414 |
| 6 | 688082 | 盛美上海 | 648.00 | 1.50 | 0.08 | 200 |
| 7 | 688126 | 沪硅产业 | 617.92 | 15.49 | 0.07 | 71 |
| 8 | 688146 | 中船特气 | 524.99 | 1.50 | 0.06 | 109 |
| 9 | 688019 | 安集科技 | 509.19 | 1.50 | 0.06 | 259 |
| 10 | 688409 | 富创精密 | 459.38 | 1.50 | 0.05 | 374 |