-2.6634% | 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 688012 | 中微公司 | 3,279.50 | 7.00 | 0.39 | 3695 |
| 2 | 688361 | 中科飞测 | 1,075.00 | 2.50 | 0.13 | 1730 |
| 3 | 688120 | 华海清科 | 964.74 | 2.99 | 0.11 | 1727 |
| 4 | 688200 | 华峰测控 | 787.65 | 1.50 | 0.09 | 1636 |
| 5 | 688037 | 芯源微 | 658.58 | 1.50 | 0.08 | 1381 |
| 6 | 688082 | 盛美上海 | 648.00 | 1.50 | 0.08 | 1329 |
| 7 | 688126 | 沪硅产业 | 617.92 | 15.49 | 0.07 | 1076 |
| 8 | 688146 | 中船特气 | 524.99 | 1.50 | 0.06 | 604 |
| 9 | 688019 | 安集科技 | 509.19 | 1.50 | 0.06 | 1107 |
| 10 | 688409 | 富创精密 | 459.38 | 1.50 | 0.05 | 1229 |
| 11 | 605358 | 立昂微 | 426.80 | 5.50 | 0.05 | 1043 |
| 12 | 600206 | 有研新材 | 366.30 | 5.50 | 0.04 | 233 |
| 13 | 688234 | 天岳先进 | 347.02 | 2.00 | 0.04 | 789 |
| 14 | 688545 | 兴福电子 | 266.12 | 2.00 | 0.03 | 519 |
| 15 | 688549 | 中巨芯 | 220.86 | 6.00 | 0.03 | 504 |
| 16 | 688233 | 神工股份 | 214.42 | 1.00 | 0.03 | 783 |
| 17 | 688652 | 京仪装备 | 200.17 | 1.00 | 0.02 | 798 |
| 18 | 688535 | 华海诚科 | 187.00 | 1.00 | 0.02 | 294 |
| 19 | 603061 | 金海通 | 150.67 | 0.30 | 0.02 | 886 |
| 20 | 688432 | 有研硅 | 106.32 | 2.66 | 0.01 | 283 |
| 21 | 603690 | 至纯科技 | 106.20 | 3.00 | 0.01 | 101 |
| 22 | 688605 | 先锋精科 | 104.02 | 1.00 | 0.01 | 372 |
| 23 | 688720 | 艾森股份 | 101.00 | 1.00 | 0.01 | 274 |
| 24 | 688478 | 晶升股份 | 76.15 | 0.86 | 0.01 | 181 |
| 25 | 603078 | 江化微 | 74.13 | 1.50 | 0.01 | 275 |
| 26 | 688584 | 上海合晶 | 71.90 | 2.00 | 0.01 | 258 |
| 27 | 688721 | 龙图光罩 | 8.17 | 0.14 | 0.00 | 146 |