% | 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 688012 | 中微公司 | 6,601.10 | 23.26 | 15.15 | 2427 |
| 2 | 002371 | 北方华创 | 5,943.34 | 12.95 | 13.64 | 2660 |
| 3 | 688256 | 寒武纪 | 3,858.71 | 2.85 | 8.86 | 3701 |
| 4 | 688981 | 中芯国际 | 3,321.29 | 27.04 | 7.62 | 2369 |
| 5 | 688041 | 海光信息 | 2,821.42 | 12.57 | 6.48 | 2732 |
| 6 | 688072 | 拓荆科技 | 2,754.51 | 8.35 | 6.32 | 1784 |
| 7 | 300604 | 长川科技 | 2,224.77 | 21.96 | 5.11 | 1452 |
| 8 | 688120 | 华海清科 | 1,836.90 | 12.24 | 4.22 | 1093 |
| 9 | 688361 | 中科飞测 | 1,589.64 | 10.39 | 3.65 | 1106 |
| 10 | 300346 | 南大光电 | 1,466.14 | 34.18 | 3.37 | 399 |
| 11 | 688019 | 安集科技 | 1,269.14 | 5.82 | 2.91 | 1009 |
| 12 | 688126 | 沪硅产业 | 1,025.35 | 47.38 | 2.35 | 736 |
| 13 | 688200 | 华峰测控 | 890.71 | 4.68 | 2.04 | 912 |
| 14 | 688082 | 盛美上海 | 834.51 | 4.74 | 1.92 | 640 |
| 15 | 301611 | 珂玛科技 | 738.99 | 8.62 | 1.70 | 596 |
| 16 | 688037 | 芯源微 | 591.22 | 3.98 | 1.36 | 803 |
| 17 | 002409 | 雅克科技 | 523.15 | 7.06 | 1.20 | 851 |
| 18 | 300666 | 江丰电子 | 483.00 | 5.25 | 1.11 | 308 |
| 19 | 688234 | 天岳先进 | 471.30 | 5.30 | 1.08 | 650 |
| 20 | 605358 | 立昂微 | 462.20 | 13.27 | 1.06 | 266 |
| 21 | 300236 | 上海新阳 | 345.89 | 5.42 | 0.79 | 219 |
| 22 | 688409 | 富创精密 | 254.68 | 3.78 | 0.58 | 305 |
| 23 | 688652 | 京仪装备 | 244.58 | 2.49 | 0.56 | 543 |
| 24 | 300655 | 晶瑞电材 | 213.88 | 13.26 | 0.49 | 119 |
| 25 | 688146 | 中船特气 | 158.36 | 3.92 | 0.36 | 293 |
| 26 | 600206 | 有研新材 | 148.82 | 7.32 | 0.34 | 144 |
| 27 | 603061 | 金海通 | 124.96 | 0.89 | 0.29 | 230 |
| 28 | 603690 | 至纯科技 | 118.94 | 3.78 | 0.27 | 92 |
| 29 | 688432 | 有研硅 | 114.89 | 9.26 | 0.26 | 192 |
| 30 | 301369 | 联动科技 | 93.73 | 0.70 | 0.22 | 34 |
| 31 | 688233 | 神工股份 | 88.52 | 1.26 | 0.20 | 263 |
| 32 | 688549 | 中巨芯 | 66.68 | 7.31 | 0.15 | 281 |
| 33 | 688535 | 华海诚科 | 66.51 | 0.59 | 0.15 | 156 |
| 34 | 688720 | 艾森股份 | 54.27 | 0.77 | 0.12 | 173 |
| 35 | 688584 | 上海合晶 | 54.05 | 2.46 | 0.12 | 359 |
| 36 | 002119 | 康强电子 | 53.53 | 3.25 | 0.12 | 96 |
| 37 | 603078 | 江化微 | 51.05 | 2.86 | 0.12 | 42 |
| 38 | 600520 | 三佳科技 | 38.62 | 1.57 | 0.09 | 26 |
| 39 | 688478 | 晶升股份 | 32.26 | 0.86 | 0.07 | 140 |
| 40 | 003026 | 中晶科技 | 29.61 | 0.96 | 0.07 | 47 |
| 41 | 001280 | 中国铀业 | 7.47 | 0.16 | 0.02 | 4052 |
| 42 | 688809 | 强一股份 | 2.68 | 0.01 | 0.01 | 3947 |
| 43 | 688795 | 摩尔线程 | 2.16 | 0.01 | 0.00 | 3414 |
| 44 | 688796 | 百奥赛图 | 1.79 | 0.04 | 0.00 | 3941 |
| 45 | 688807 | 优迅股份 | 1.78 | 0.01 | 0.00 | 3849 |
| 46 | 001233 | 海安集团 | 1.50 | 0.03 | 0.00 | 3481 |
| 47 | 688802 | 沐曦股份 | 1.28 | 0.00 | 0.00 | 3606 |
| 48 | 301687 | 新广益 | 1.06 | 0.02 | 0.00 | 4401 |
| 49 | 001369 | 双欣材料 | 0.97 | 0.08 | 0.00 | 4253 |
| 50 | 301667 | 纳百川 | 0.86 | 0.02 | 0.00 | 4230 |
| 51 | 688805 | 健信超导 | 0.86 | 0.03 | 0.00 | 3634 |
| 52 | 688759 | 必贝特 | 0.83 | 0.03 | 0.00 | 3082 |
| 53 | 603175 | 超颖电子 | 0.75 | 0.02 | 0.00 | 4949 |
| 54 | 301449 | 天溯计量 | 0.73 | 0.01 | 0.00 | 3722 |
| 55 | 601026 | 道生天合 | 0.64 | 0.05 | 0.00 | 4405 |
| 56 | 688790 | 昂瑞微 | 0.59 | 0.01 | 0.00 | 3195 |
| 57 | 603092 | 德力佳 | 0.54 | 0.01 | 0.00 | 4945 |
| 58 | 603262 | 技源集团 | 0.44 | 0.02 | 0.00 | 4366 |
| 59 | 603248 | 锡华科技 | 0.42 | 0.03 | 0.00 | 4393 |
| 60 | 603418 | 友升股份 | 0.34 | 0.01 | 0.00 | 4291 |
| 61 | 603370 | 华新精科 | 0.33 | 0.01 | 0.00 | 4685 |
| 62 | 603406 | 天富龙 | 0.32 | 0.01 | 0.00 | 4428 |
| 63 | 603376 | 大明电子 | 0.29 | 0.01 | 0.00 | 4539 |
| 64 | 603334 | 丰倍生物 | 0.29 | 0.01 | 0.00 | 4680 |