1.7778% | 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 002371 | 北方华创 | 5,407.04 | 11.78 | 13.50 | 2660 |
| 2 | 688012 | 中微公司 | 5,220.74 | 18.40 | 13.04 | 2427 |
| 3 | 688072 | 拓荆科技 | 2,673.26 | 8.10 | 6.68 | 1784 |
| 4 | 300604 | 长川科技 | 2,162.97 | 21.35 | 5.40 | 1452 |
| 5 | 688126 | 沪硅产业 | 1,994.24 | 92.16 | 4.98 | 736 |
| 6 | 688120 | 华海清科 | 1,784.87 | 11.89 | 4.46 | 1093 |
| 7 | 688361 | 中科飞测 | 1,546.39 | 10.11 | 3.86 | 1106 |
| 8 | 300346 | 南大光电 | 1,425.48 | 33.23 | 3.56 | 399 |
| 9 | 688019 | 安集科技 | 1,233.36 | 5.66 | 3.08 | 1009 |
| 10 | 688037 | 芯源微 | 1,153.31 | 7.77 | 2.88 | 803 |
| 11 | 002409 | 雅克科技 | 1,018.13 | 13.74 | 2.54 | 851 |
| 12 | 300666 | 江丰电子 | 938.40 | 10.20 | 2.34 | 308 |
| 13 | 688234 | 天岳先进 | 917.51 | 10.32 | 2.29 | 650 |
| 14 | 605358 | 立昂微 | 899.05 | 25.82 | 2.25 | 266 |
| 15 | 688200 | 华峰测控 | 862.79 | 4.54 | 2.15 | 912 |
| 16 | 300655 | 晶瑞电材 | 831.99 | 51.58 | 2.08 | 119 |
| 17 | 688082 | 盛美上海 | 808.07 | 4.59 | 2.02 | 640 |
| 18 | 301611 | 珂玛科技 | 719.27 | 8.39 | 1.80 | 596 |
| 19 | 300236 | 上海新阳 | 672.03 | 10.54 | 1.68 | 219 |
| 20 | 600206 | 有研新材 | 579.20 | 28.49 | 1.45 | 144 |
| 21 | 688409 | 富创精密 | 495.28 | 7.35 | 1.24 | 305 |
| 22 | 688652 | 京仪装备 | 475.55 | 4.84 | 1.19 | 543 |
| 23 | 603690 | 至纯科技 | 462.94 | 14.72 | 1.16 | 92 |
| 24 | 301095 | 广立微 | 344.47 | 4.80 | 0.86 | 431 |
| 25 | 688233 | 神工股份 | 343.21 | 4.90 | 0.86 | 263 |
| 26 | 688146 | 中船特气 | 308.64 | 7.64 | 0.77 | 293 |
| 27 | 688549 | 中巨芯 | 259.02 | 28.40 | 0.65 | 281 |
| 28 | 688535 | 华海诚科 | 258.90 | 2.31 | 0.65 | 156 |
| 29 | 603061 | 金海通 | 242.89 | 1.73 | 0.61 | 230 |
| 30 | 688432 | 有研硅 | 223.39 | 18.00 | 0.56 | 192 |
| 31 | 688584 | 上海合晶 | 210.26 | 9.58 | 0.53 | 359 |
| 32 | 688720 | 艾森股份 | 208.32 | 2.96 | 0.52 | 173 |
| 33 | 002119 | 康强电子 | 208.02 | 12.63 | 0.52 | 96 |
| 34 | 603078 | 江化微 | 198.67 | 11.13 | 0.50 | 42 |
| 35 | 301369 | 联动科技 | 182.10 | 1.36 | 0.45 | 34 |
| 36 | 600520 | 三佳科技 | 149.81 | 6.09 | 0.37 | 26 |
| 37 | 301629 | 矽电股份 | 130.92 | 0.60 | 0.33 | 62 |
| 38 | 688478 | 晶升股份 | 123.83 | 3.31 | 0.31 | 140 |
| 39 | 003026 | 中晶科技 | 115.37 | 3.74 | 0.29 | 47 |
| 40 | 688721 | 龙图光罩 | 88.41 | 1.90 | 0.22 | 145 |
| 41 | 688795 | 摩尔线程 | 53.25 | 0.13 | 0.13 | 3414 |
| 42 | 688802 | 沐曦股份 | 7.31 | 0.02 | 0.02 | 3606 |
| 43 | 001280 | 中国铀业 | 5.92 | 0.13 | 0.01 | 4052 |
| 44 | 688759 | 必贝特 | 5.52 | 0.22 | 0.01 | 3082 |
| 45 | 688790 | 昂瑞微 | 2.65 | 0.02 | 0.01 | 3195 |
| 46 | 688809 | 强一股份 | 1.99 | 0.01 | 0.00 | 3947 |
| 47 | 688783 | 西安奕材 | 1.99 | 0.11 | 0.00 | 2878 |
| 48 | 688727 | 恒坤新材 | 1.96 | 0.06 | 0.00 | 3566 |
| 49 | 688807 | 优迅股份 | 1.78 | 0.01 | 0.00 | 3849 |
| 50 | 688796 | 百奥赛图 | 1.35 | 0.03 | 0.00 | 3941 |
| 51 | 001233 | 海安集团 | 1.28 | 0.02 | 0.00 | 3481 |
| 52 | 301687 | 新广益 | 1.06 | 0.02 | 0.00 | 4401 |
| 53 | 301667 | 纳百川 | 0.86 | 0.02 | 0.00 | 4230 |
| 54 | 688805 | 健信超导 | 0.86 | 0.03 | 0.00 | 3634 |
| 55 | 301449 | 天溯计量 | 0.73 | 0.01 | 0.00 | 3722 |
| 56 | 001369 | 双欣材料 | 0.68 | 0.05 | 0.00 | 4253 |
| 57 | 603092 | 德力佳 | 0.55 | 0.01 | 0.00 | 4945 |
| 58 | 603248 | 锡华科技 | 0.42 | 0.03 | 0.00 | 4393 |
| 59 | 603376 | 大明电子 | 0.29 | 0.01 | 0.00 | 4539 |
| 60 | 603334 | 丰倍生物 | 0.29 | 0.01 | 0.00 | 4680 |
| 61 | 001396 | 誉帆科技 | 0.24 | 0.01 | 0.00 | 3625 |
| 62 | 603175 | 超颖电子 | 0.21 | 0.00 | 0.00 | 4949 |