0.0667% | 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 688012 | 中微公司 | 666,787.77 | 1,423.61 | 15.10 | 3695 |
| 2 | 002371 | 北方华创 | 589,041.42 | 665.91 | 13.34 | 3614 |
| 3 | 300604 | 长川科技 | 285,413.57 | 836.91 | 6.46 | 3101 |
| 4 | 688072 | 拓荆科技 | 283,949.79 | 341.29 | 6.43 | 2808 |
| 5 | 688120 | 华海清科 | 242,502.50 | 752.69 | 5.49 | 1727 |
| 6 | 688361 | 中科飞测 | 199,493.13 | 463.94 | 4.52 | 1730 |
| 7 | 300666 | 江丰电子 | 148,950.41 | 404.10 | 3.37 | 1492 |
| 8 | 688200 | 华峰测控 | 138,590.38 | 263.93 | 3.14 | 1636 |
| 9 | 688037 | 芯源微 | 135,052.35 | 307.60 | 3.06 | 1381 |
| 10 | 688126 | 沪硅产业 | 125,021.49 | 3,134.16 | 2.83 | 1076 |
| 11 | 300346 | 南大光电 | 121,379.11 | 1,310.08 | 2.75 | 686 |
| 12 | 002409 | 雅克科技 | 118,967.51 | 529.92 | 2.69 | 941 |
| 13 | 688019 | 安集科技 | 117,005.62 | 344.68 | 2.65 | 1107 |
| 14 | 688082 | 盛美上海 | 116,309.97 | 271.81 | 2.63 | 1329 |
| 15 | 688146 | 中船特气 | 106,091.94 | 303.13 | 2.40 | 604 |
| 16 | 688409 | 富创精密 | 103,812.59 | 347.75 | 2.35 | 1229 |
| 17 | 605358 | 立昂微 | 87,164.62 | 1,123.26 | 1.97 | 1043 |
| 18 | 600206 | 有研新材 | 74,855.26 | 1,123.95 | 1.69 | 233 |
| 19 | 688234 | 天岳先进 | 73,141.00 | 425.91 | 1.66 | 789 |
| 20 | 301611 | 珂玛科技 | 59,473.23 | 330.28 | 1.35 | 929 |
| 21 | 300236 | 上海新阳 | 54,825.30 | 416.92 | 1.24 | 699 |
| 22 | 603061 | 金海通 | 49,702.20 | 98.97 | 1.13 | 886 |
| 23 | 300655 | 晶瑞电材 | 45,644.01 | 2,130.91 | 1.03 | 181 |
| 24 | 688545 | 兴福电子 | 45,406.73 | 341.25 | 1.03 | 519 |
| 25 | 688233 | 神工股份 | 41,924.19 | 195.52 | 0.95 | 783 |
| 26 | 688549 | 中巨芯 | 41,233.29 | 1,120.17 | 0.93 | 504 |
| 27 | 688652 | 京仪装备 | 38,621.32 | 192.94 | 0.87 | 798 |
| 28 | 688535 | 华海诚科 | 30,846.53 | 164.95 | 0.70 | 294 |
| 29 | 688432 | 有研硅 | 28,326.30 | 708.69 | 0.64 | 283 |
| 30 | 301095 | 广立微 | 26,820.79 | 227.20 | 0.61 | 482 |
| 31 | 002119 | 康强电子 | 22,063.18 | 552.68 | 0.50 | 102 |
| 32 | 603078 | 江化微 | 20,773.35 | 420.34 | 0.47 | 275 |
| 33 | 603690 | 至纯科技 | 20,537.55 | 580.16 | 0.47 | 101 |
| 34 | 688605 | 先锋精科 | 20,134.11 | 193.56 | 0.46 | 372 |
| 35 | 301369 | 联动科技 | 19,406.01 | 79.21 | 0.44 | 318 |
| 36 | 688720 | 艾森股份 | 16,837.75 | 166.71 | 0.38 | 274 |
| 37 | 301629 | 矽电股份 | 16,090.93 | 37.39 | 0.36 | 162 |
| 38 | 688584 | 上海合晶 | 13,597.51 | 378.23 | 0.31 | 258 |
| 39 | 688478 | 晶升股份 | 10,994.03 | 124.16 | 0.25 | 181 |
| 40 | 688721 | 龙图光罩 | 6,974.10 | 119.46 | 0.16 | 146 |
| 41 | 688802 | 沐曦股份 | 307.09 | 0.40 | 0.01 | 2906 |
| 42 | 688783 | 西安奕材 | 254.77 | 4.44 | 0.01 | 1490 |
| 43 | 001248 | 华润新能源 | 85.03 | 8.41 | 0.00 | 4901 |
| 44 | 688765 | 禾元生物 | 79.98 | 1.65 | 0.00 | 872 |
| 45 | 301666 | 大普微 | 56.53 | 0.12 | 0.00 | 4417 |
| 46 | 688820 | 盛合晶微 | 33.83 | 0.24 | 0.00 | 4491 |
| 47 | 688781 | 视涯科技 | 26.71 | 0.63 | 0.00 | 3952 |
| 48 | 688808 | 联讯仪器 | 25.82 | 0.02 | 0.00 | 4601 |
| 49 | 001399 | 惠科股份 | 17.99 | 0.65 | 0.00 | 4836 |
| 50 | 688809 | 强一股份 | 16.14 | 0.03 | 0.00 | 2200 |
| 51 | 301682 | 宏明电子 | 11.43 | 0.07 | 0.00 | 4016 |
| 52 | 688797 | 臻宝科技 | 9.70 | 0.02 | 0.00 | 4660 |
| 53 | 688712 | 北芯生命 | 5.39 | 0.15 | 0.00 | 3879 |
| 54 | 688813 | 泰金新能 | 4.03 | 0.02 | 0.00 | 4157 |
| 55 | 688635 | 长进光子 | 3.94 | 0.01 | 0.00 | 4227 |
| 56 | 001257 | 盛龙股份 | 3.61 | 0.17 | 0.00 | 4416 |
| 57 | 603459 | 红板科技 | 2.78 | 0.03 | 0.00 | 5123 |
| 58 | 001365 | 天海电子 | 2.25 | 0.07 | 0.00 | 4673 |
| 59 | 688811 | 有研复材 | 2.01 | 0.08 | 0.00 | 4080 |
| 60 | 301696 | 三瑞智能 | 1.87 | 0.02 | 0.00 | 4774 |
| 61 | 001237 | 惠康科技 | 1.67 | 0.03 | 0.00 | 4465 |
| 62 | 301669 | 高特电子 | 1.55 | 0.05 | 0.00 | 4783 |
| 63 | 301687 | 新广益 | 1.52 | 0.02 | 0.00 | 4439 |
| 64 | 001393 | 维通利 | 1.51 | 0.04 | 0.00 | 4559 |
| 65 | 301599 | 理奇智能 | 1.41 | 0.04 | 0.00 | 4435 |
| 66 | 601112 | 振石股份 | 1.36 | 0.08 | 0.00 | 4902 |
| 67 | 301680 | 固德电材 | 1.31 | 0.01 | 0.00 | 4244 |
| 68 | 001369 | 双欣材料 | 1.21 | 0.09 | 0.00 | 1883 |
| 69 | 301683 | 慧谷新材 | 1.17 | 0.01 | 0.00 | 4675 |
| 70 | 688816 | 易思维 | 1.01 | 0.02 | 0.00 | 3741 |
| 71 | 603407 | 长裕集团 | 1.01 | 0.01 | 0.00 | 3721 |
| 72 | 301513 | 尚水智能 | 0.70 | 0.01 | 0.00 | 4262 |
| 73 | 603435 | 嘉德利 | 0.49 | 0.01 | 0.00 | 5005 |
| 74 | 001396 | 誉帆科技 | 0.24 | 0.01 | 0.00 | 1659 |
| 75 | 603293 | 埃泰克 | 0.24 | 0.01 | 0.00 | 5313 |
| 76 | 603284 | 林平发展 | 0.16 | 0.00 | 0.00 | 4442 |
| 77 | 001220 | 世盟股份 | 0.16 | 0.01 | 0.00 | 4494 |