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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 688012 | 中微公司 | 8,282.89 | 27.70 | 9.66 | 642 |
| 2 | 688072 | 拓荆科技 | 8,158.46 | 31.36 | 9.51 | 305 |
| 3 | 688037 | 芯源微 | 7,686.39 | 51.59 | 8.96 | 207 |
| 4 | 688361 | 中科飞测 | 6,973.15 | 60.10 | 8.13 | 216 |
| 5 | 002371 | 北方华创 | 6,872.25 | 15.19 | 8.01 | 785 |
| 6 | 300308 | 中际旭创 | 5,487.63 | 13.59 | 6.40 | 1972 |
| 7 | 688120 | 华海清科 | 4,832.05 | 29.25 | 5.63 | 224 |
| 8 | 002050 | 三花智控 | 3,357.65 | 69.33 | 3.91 | 341 |
| 9 | 002850 | 科达利 | 2,982.47 | 15.24 | 3.48 | 336 |
| 10 | 688041 | 海光信息 | 2,838.90 | 11.24 | 3.31 | 940 |