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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 688498 | 源杰科技 | 7,541.74 | 4.68 | 1.63 | 1497 |
| 2 | 300604 | 长川科技 | 5,129.11 | 21.39 | 1.11 | 959 |
| 3 | 688120 | 华海清科 | 4,341.87 | 19.09 | 0.94 | 409 |
| 4 | 688347 | 华虹宏力 | 4,188.32 | 20.14 | 0.91 | 568 |
| 5 | 300857 | 协创数据 | 4,084.77 | 16.26 | 0.89 | 380 |
| 6 | 688361 | 中科飞测 | 4,016.77 | 11.51 | 0.87 | 679 |
| 7 | 002281 | 光迅科技 | 3,833.46 | 23.25 | 0.83 | 313 |
| 8 | 002436 | 兴森科技 | 3,322.28 | 81.15 | 0.72 | 310 |
| 9 | 002008 | 大族激光 | 3,151.58 | 39.38 | 0.68 | 353 |
| 10 | 688002 | 睿创微纳 | 3,150.66 | 18.17 | 0.68 | 709 |