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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 688981 | 中芯国际 | 92.93 | 0.66 | 1.56 | 1003 |
| 2 | 688012 | 中微公司 | 91.94 | 0.31 | 1.54 | 642 |
| 3 | 688037 | 芯源微 | 86.82 | 0.58 | 1.46 | 207 |
| 4 | 002371 | 北方华创 | 86.63 | 0.19 | 1.45 | 785 |
| 5 | 688120 | 华海清科 | 80.95 | 0.49 | 1.36 | 224 |
| 6 | 688041 | 海光信息 | 75.33 | 0.30 | 1.26 | 940 |
| 7 | 688072 | 拓荆科技 | 70.25 | 0.27 | 1.18 | 305 |
| 8 | 688256 | 寒武纪 | 53.00 | 0.04 | 0.89 | 1564 |
| 9 | 688361 | 中科飞测 | 51.05 | 0.44 | 0.86 | 216 |
| 10 | 688008 | 澜起科技 | 44.32 | 0.29 | 0.74 | 557 |