0.0176% | 全部持股 |
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| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 002371 | 北方华创 | 3,640.21 | 9.31 | 15.81 | 2530 |
| 2 | 688012 | 中微公司 | 3,275.06 | 17.31 | 14.23 | 1477 |
| 3 | 688126 | 沪硅产业 | 1,338.60 | 71.13 | 5.81 | 494 |
| 4 | 688120 | 华海清科 | 998.80 | 6.13 | 4.34 | 947 |
| 5 | 300346 | 南大光电 | 958.96 | 24.85 | 4.17 | 327 |
| 6 | 688072 | 拓荆科技 | 922.53 | 6.00 | 4.01 | 746 |
| 7 | 300604 | 长川科技 | 835.38 | 18.93 | 3.63 | 563 |
| 8 | 000100 | TCL科技 | 784.82 | 156.03 | 3.41 | 1141 |
| 9 | 688361 | 中科飞测 | 725.44 | 8.29 | 3.15 | 829 |
| 10 | 300054 | 鼎龙股份 | 715.81 | 27.51 | 3.11 | 758 |
| 11 | 002409 | 雅克科技 | 713.94 | 12.32 | 3.10 | 612 |
| 12 | 688037 | 芯源微 | 579.11 | 6.92 | 2.52 | 456 |
| 13 | 605358 | 立昂微 | 573.92 | 23.17 | 2.49 | 363 |
| 14 | 300666 | 江丰电子 | 556.22 | 8.01 | 2.42 | 516 |
| 15 | 688019 | 安集科技 | 541.07 | 3.88 | 2.35 | 947 |
| 16 | 600641 | 万业企业 | 409.07 | 27.98 | 1.78 | 138 |
| 17 | 600206 | 有研新材 | 400.68 | 25.57 | 1.74 | 96 |
| 18 | 688234 | 天岳先进 | 379.63 | 7.41 | 1.65 | 356 |
| 19 | 688082 | 盛美上海 | 378.44 | 3.78 | 1.64 | 503 |
| 20 | 688200 | 华峰测控 | 366.03 | 3.50 | 1.59 | 519 |
| 21 | 300236 | 上海新阳 | 353.89 | 9.47 | 1.54 | 185 |
| 22 | 688409 | 富创精密 | 342.86 | 6.65 | 1.49 | 349 |
| 23 | 300655 | 晶瑞电材 | 299.63 | 32.01 | 1.30 | 104 |
| 24 | 603690 | 至纯科技 | 291.28 | 11.60 | 1.27 | 139 |
| 25 | 688548 | 广钢气体 | 286.78 | 28.48 | 1.25 | 298 |
| 26 | 301095 | 广立微 | 224.94 | 4.32 | 0.98 | 208 |
| 27 | 688106 | 金宏气体 | 211.21 | 12.42 | 0.92 | 193 |
| 28 | 688146 | 中船特气 | 197.68 | 6.81 | 0.86 | 212 |
| 29 | 688432 | 有研硅 | 182.44 | 16.14 | 0.79 | 201 |
| 30 | 002119 | 康强电子 | 175.54 | 11.34 | 0.76 | 41 |
| 31 | 603078 | 江化微 | 166.90 | 9.97 | 0.72 | 47 |
| 32 | 600520 | 文一科技 | 166.53 | 5.46 | 0.72 | 30 |
| 33 | 688549 | 中巨芯 | 162.93 | 19.12 | 0.71 | 130 |
| 34 | 688535 | 华海诚科 | 133.00 | 1.79 | 0.58 | 179 |
| 35 | 688233 | 神工股份 | 102.97 | 4.39 | 0.45 | 266 |
| 36 | 603061 | 金海通 | 92.98 | 1.29 | 0.40 | 96 |
| 37 | 003026 | 中晶科技 | 91.86 | 2.82 | 0.40 | 25 |
| 38 | 688478 | 晶升股份 | 84.08 | 2.98 | 0.37 | 77 |
| 39 | 301369 | 联动科技 | 62.86 | 1.20 | 0.27 | 57 |
| 40 | 688419 | 耐科装备 | 33.26 | 1.07 | 0.14 | 90 |
| 41 | 603072 | 天和磁材 | 2.48 | 0.20 | 0.01 | 3763 |
| 42 | 688605 | 先锋精科 | 2.17 | 0.04 | 0.01 | 2351 |
| 43 | 001391 | 国货航 | 1.27 | 0.19 | 0.01 | 3232 |
| 44 | 688708 | 佳驰科技 | 0.79 | 0.02 | 0.00 | 2674 |
| 45 | 603194 | 中力股份 | 0.58 | 0.02 | 0.00 | 3582 |
| 46 | 301585 | 蓝宇股份 | 0.38 | 0.01 | 0.00 | 3051 |
| 47 | 301617 | 博苑股份 | 0.35 | 0.01 | 0.00 | 3260 |