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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 688409 | 富创精密 | 67.13 | 0.22 | 7.65 | 374 |
| 2 | 002851 | 麦格米特 | 63.53 | 0.38 | 7.24 | 147 |
| 3 | 688630 | 芯碁微装 | 54.06 | 0.10 | 6.16 | 459 |
| 4 | 300476 | 胜宏科技 | 51.96 | 0.15 | 5.92 | 335 |
| 5 | 688372 | 伟测科技 | 50.54 | 0.27 | 5.76 | 138 |
| 6 | 688220 | 翱捷科技 | 49.60 | 0.40 | 5.65 | 60 |
| 7 | 688200 | 华峰测控 | 43.90 | 0.08 | 5.00 | 518 |
| 8 | 688012 | 中微公司 | 41.88 | 0.09 | 4.77 | 1661 |
| 9 | 301528 | 多浦乐 | 41.56 | 0.51 | 4.73 | 6 |
| 10 | 603986 | 兆易创新 | 40.75 | 0.05 | 4.64 | 2404 |