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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 688409 | 富创精密 | 67.13 | 0.22 | 7.65 | 1229 |
| 2 | 002851 | 麦格米特 | 63.53 | 0.38 | 7.24 | 1295 |
| 3 | 688630 | 芯碁微装 | 54.06 | 0.10 | 6.16 | 1721 |
| 4 | 300476 | 胜宏科技 | 51.96 | 0.15 | 5.92 | 2032 |
| 5 | 688372 | 伟测科技 | 50.54 | 0.27 | 5.76 | 919 |
| 6 | 688220 | 翱捷科技 | 49.60 | 0.40 | 5.65 | 1009 |
| 7 | 688200 | 华峰测控 | 43.90 | 0.08 | 5.00 | 1636 |
| 8 | 688012 | 中微公司 | 41.88 | 0.09 | 4.77 | 3695 |
| 9 | 301528 | 多浦乐 | 41.56 | 0.51 | 4.73 | 53 |
| 10 | 603986 | 兆易创新 | 40.75 | 0.05 | 4.64 | 4016 |
| 11 | 301630 | 同宇新材 | 31.52 | 0.13 | 3.59 | 41 |
| 12 | 688820 | 盛合晶微 | 29.37 | 0.15 | 3.35 | 4491 |
| 13 | 688785 | 恒运昌 | 29.04 | 0.06 | 3.31 | 4157 |
| 14 | 688981 | 中芯国际 | 28.75 | 0.18 | 3.27 | 3360 |
| 15 | 688361 | 中科飞测 | 25.80 | 0.06 | 2.94 | 1730 |
| 16 | 688239 | 航宇科技 | 25.51 | 0.43 | 2.91 | 616 |
| 17 | 688008 | 澜起科技 | 24.79 | 0.08 | 2.82 | 3170 |
| 18 | 688652 | 京仪装备 | 23.30 | 0.12 | 2.65 | 798 |
| 19 | 688347 | 华虹宏力 | 18.23 | 0.05 | 2.08 | 2259 |
| 20 | 603893 | 瑞芯微 | 11.30 | 0.06 | 1.29 | 847 |
| 21 | 688037 | 芯源微 | 8.78 | 0.02 | 1.00 | 1381 |