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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 688012 | 中微公司 | 55.17 | 0.17 | 9.34 | 1270 |
| 2 | 688361 | 中科飞测 | 50.13 | 0.14 | 8.49 | 679 |
| 3 | 688037 | 芯源微 | 47.85 | 0.15 | 8.10 | 407 |
| 4 | 300223 | 君正股份 | 47.79 | 0.37 | 8.09 | 312 |
| 5 | 688072 | 拓荆科技 | 41.92 | 0.07 | 7.10 | 812 |
| 6 | 688981 | 中芯国际 | 41.46 | 0.37 | 7.02 | 1154 |
| 7 | 688409 | 富创精密 | 35.67 | 0.21 | 6.04 | 195 |
| 8 | 688347 | 华虹宏力 | 35.35 | 0.17 | 5.98 | 568 |
| 9 | 300567 | 精测电子 | 31.29 | 0.17 | 5.30 | 179 |
| 10 | 002371 | 北方华创 | 30.80 | 0.05 | 5.21 | 1403 |