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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 688072 | 拓荆科技 | 2,958.19 | 11.37 | 9.93 | 305 |
| 2 | 688120 | 华海清科 | 2,930.78 | 17.74 | 9.84 | 224 |
| 3 | 688596 | 正帆科技 | 2,929.24 | 67.54 | 9.83 | 40 |
| 4 | 688037 | 芯源微 | 2,894.80 | 19.43 | 9.72 | 207 |
| 5 | 688409 | 富创精密 | 2,889.05 | 38.89 | 9.70 | 45 |
| 6 | 002371 | 北方华创 | 2,801.47 | 6.19 | 9.40 | 785 |
| 7 | 688012 | 中微公司 | 2,775.55 | 9.28 | 9.32 | 642 |
| 8 | 300666 | 江丰电子 | 2,764.60 | 27.13 | 9.28 | 18 |
| 9 | 300260 | 新莱应材 | 2,529.47 | 55.40 | 8.49 | 17 |
| 10 | 688361 | 中科飞测 | 2,258.32 | 19.46 | 7.58 | 216 |