0.2308% | 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 688147 | 微导纳米 | 178.07 | 1.10 | 5.83 | 825 |
| 2 | 920438 | 戈碧迦 | 174.75 | 1.10 | 5.72 | 164 |
| 3 | 688037 | 芯源微 | 162.45 | 0.37 | 5.32 | 1381 |
| 4 | 688630 | 芯碁微装 | 159.32 | 0.29 | 5.21 | 1721 |
| 5 | 688257 | 新锐股份 | 158.96 | 1.56 | 5.20 | 1023 |
| 6 | 301377 | 鼎泰高科 | 154.25 | 0.28 | 5.05 | 1176 |
| 7 | 688120 | 华海清科 | 141.76 | 0.44 | 4.64 | 1727 |
| 8 | 688082 | 盛美上海 | 133.92 | 0.31 | 4.38 | 1329 |
| 9 | 688072 | 拓荆科技 | 131.93 | 0.15 | 4.32 | 2808 |
| 10 | 688525 | 佰维存储 | 128.63 | 0.26 | 4.21 | 1532 |
| 11 | 301611 | 珂玛科技 | 111.64 | 0.62 | 3.65 | 929 |
| 12 | 300604 | 长川科技 | 102.43 | 0.30 | 3.35 | 3101 |
| 13 | 301392 | 汇成真空 | 101.02 | 0.35 | 3.31 | 465 |
| 14 | 688110 | 东芯股份 | 97.78 | 0.48 | 3.20 | 1054 |
| 15 | 301338 | 凯格精机 | 97.73 | 0.60 | 3.20 | 430 |
| 16 | 688652 | 京仪装备 | 96.08 | 0.48 | 3.14 | 798 |
| 17 | 688041 | 海光信息 | 88.87 | 0.24 | 2.91 | 4408 |
| 18 | 688519 | 南亚新材 | 83.61 | 0.22 | 2.74 | 843 |
| 19 | 300757 | 罗博特科 | 80.47 | 0.13 | 2.63 | 1136 |
| 20 | 688797 | 臻宝科技 | 75.91 | 0.11 | 2.48 | 4660 |
| 21 | 603256 | 宏和科技 | 58.37 | 0.22 | 1.91 | 1091 |
| 22 | 688603 | 天承科技 | 58.23 | 0.28 | 1.91 | 459 |
| 23 | 300706 | 阿石创 | 56.13 | 0.65 | 1.84 | 111 |
| 24 | 688308 | 欧科亿 | 45.45 | 0.25 | 1.49 | 711 |
| 25 | 920394 | 民士达 | 34.48 | 0.50 | 1.13 | 221 |
| 26 | 301319 | 唯特偶 | 33.47 | 0.20 | 1.10 | 379 |
| 27 | 688233 | 神工股份 | 21.44 | 0.10 | 0.70 | 783 |
| 28 | 300394 | 天孚通信 | 21.19 | 0.07 | 0.69 | 3025 |
| 29 | 605111 | 新洁能 | 19.83 | 0.20 | 0.65 | 725 |