-4.6537% | 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 300567 | 精测电子 | 146.10 | 0.46 | 5.73 | 1707 |
| 2 | 300604 | 长川科技 | 133.15 | 0.39 | 5.23 | 3101 |
| 3 | 688409 | 富创精密 | 125.41 | 0.41 | 4.92 | 1229 |
| 4 | 688147 | 微导纳米 | 122.83 | 0.76 | 4.82 | 825 |
| 5 | 688120 | 华海清科 | 118.59 | 0.37 | 4.65 | 1727 |
| 6 | 688361 | 中科飞测 | 98.04 | 0.23 | 3.85 | 1730 |
| 7 | 002371 | 北方华创 | 97.30 | 0.11 | 3.82 | 3614 |
| 8 | 301392 | 汇成真空 | 95.25 | 0.33 | 3.74 | 465 |
| 9 | 300666 | 江丰电子 | 92.15 | 0.25 | 3.62 | 1492 |
| 10 | 688627 | 精智达 | 85.09 | 0.12 | 3.34 | 1213 |
| 11 | 688200 | 华峰测控 | 81.71 | 0.16 | 3.21 | 1636 |
| 12 | 688012 | 中微公司 | 76.93 | 0.16 | 3.02 | 3695 |
| 13 | 688072 | 拓荆科技 | 70.36 | 0.08 | 2.76 | 2808 |
| 14 | 300820 | 英杰电气 | 61.36 | 0.68 | 2.41 | 349 |
| 15 | 688037 | 芯源微 | 59.32 | 0.14 | 2.33 | 1381 |
| 16 | 605358 | 立昂微 | 49.66 | 0.64 | 1.95 | 1043 |
| 17 | 688502 | 茂莱光学 | 48.62 | 0.07 | 1.91 | 369 |
| 18 | 300260 | 新莱应材 | 34.16 | 0.34 | 1.34 | 531 |
| 19 | 688630 | 芯碁微装 | 27.30 | 0.05 | 1.07 | 1721 |