-3.0719% | 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 00981 | 中芯国际 | 1,168.61 | 15.05 | 9.34 | 2124 |
| 2 | 01347 | 华虹宏力 | 1,140.16 | 6.10 | 9.11 | 1031 |
| 3 | 688362 | 甬矽电子 | 891.09 | 9.24 | 7.12 | 567 |
| 4 | 688249 | 晶合集成 | 802.79 | 13.60 | 6.42 | 1018 |
| 5 | 688627 | 精智达 | 759.76 | 1.06 | 6.07 | 1213 |
| 6 | 688396 | 华润微 | 625.98 | 6.42 | 5.00 | 1606 |
| 7 | 301235 | 华康洁净 | 600.08 | 8.00 | 4.80 | 194 |
| 8 | 603005 | 晶方科技 | 582.60 | 10.81 | 4.66 | 388 |
| 9 | 688403 | 汇成股份 | 580.80 | 14.63 | 4.64 | 577 |
| 10 | 688630 | 芯碁微装 | 576.58 | 1.05 | 4.61 | 1721 |
| 11 | 688172 | 燕东微 | 563.39 | 6.73 | 4.50 | 886 |
| 12 | 688652 | 京仪装备 | 496.20 | 2.48 | 3.97 | 798 |
| 13 | 688610 | 埃科光电 | 466.01 | 1.77 | 3.73 | 311 |
| 14 | 688419 | 耐科装备 | 240.98 | 3.06 | 1.93 | 131 |
| 15 | 002484 | 江海股份 | 239.40 | 2.28 | 1.91 | 1293 |
| 16 | 300024 | 机器人 | 167.98 | 8.69 | 1.34 | 400 |
| 17 | 688072 | 拓荆科技 | 157.08 | 0.18 | 1.26 | 2808 |
| 18 | 301479 | 弘景光电 | 125.22 | 2.08 | 1.00 | 203 |
| 19 | 688352 | 颀中科技 | 77.71 | 3.21 | 0.62 | 370 |
| 20 | 600962 | 国投中鲁 | 64.87 | 2.15 | 0.52 | 35 |
| 21 | 688820 | 盛合晶微 | 33.24 | 0.17 | 0.27 | 4491 |