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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 688012 | 中微公司 | 3,147.81 | 10.27 | 10.78 | 824 |
| 2 | 688072 | 拓荆科技 | 3,041.07 | 8.22 | 10.41 | 645 |
| 3 | 002409 | 雅克科技 | 2,128.34 | 27.03 | 7.29 | 41 |
| 4 | 002371 | 北方华创 | 1,789.34 | 4.00 | 6.13 | 825 |
| 5 | 688037 | 芯源微 | 1,573.77 | 9.39 | 5.39 | 181 |
| 6 | 688409 | 富创精密 | 1,414.59 | 15.70 | 4.84 | 73 |
| 7 | 688019 | 安集科技 | 1,399.90 | 5.58 | 4.79 | 222 |
| 8 | 688120 | 华海清科 | 1,337.33 | 7.69 | 4.58 | 208 |
| 9 | 688521 | 芯原股份 | 1,170.59 | 5.79 | 4.01 | 619 |
| 10 | 688008 | 澜起科技 | 1,041.79 | 8.32 | 3.57 | 542 |