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| 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 688392 | 骄成超声 | 213.18 | 1.90 | 8.70 | 460 |
| 2 | 688072 | 拓荆科技 | 165.00 | 0.50 | 6.73 | 1784 |
| 3 | 002938 | 鹏鼎控股 | 145.67 | 2.88 | 5.94 | 1387 |
| 4 | 300811 | 铂科新材 | 142.62 | 2.00 | 5.82 | 329 |
| 5 | 001309 | 德明利 | 139.13 | 0.60 | 5.68 | 668 |
| 6 | 300567 | 精测电子 | 136.80 | 1.50 | 5.58 | 901 |
| 7 | 688521 | 芯原股份 | 135.53 | 0.99 | 5.53 | 1235 |
| 8 | 603186 | 华正新材 | 124.00 | 2.50 | 5.06 | 166 |
| 9 | 300604 | 长川科技 | 111.44 | 1.10 | 4.55 | 1452 |
| 10 | 688372 | 伟测科技 | 109.09 | 1.00 | 4.45 | 852 |
| 11 | 688396 | 华润微 | 105.72 | 2.00 | 4.31 | 921 |
| 12 | 002222 | 福晶科技 | 101.41 | 1.80 | 4.14 | 830 |
| 13 | 688981 | 中芯国际 | 98.26 | 0.80 | 4.01 | 2369 |
| 14 | 301308 | 江波龙 | 97.94 | 0.40 | 3.99 | 1002 |
| 15 | 603360 | 百傲化学 | 96.66 | 3.00 | 3.94 | 87 |
| 16 | 688347 | 华虹公司 | 86.30 | 0.80 | 3.52 | 1005 |
| 17 | 301421 | 波长光电 | 83.32 | 0.80 | 3.40 | 134 |
| 18 | 688502 | 茂莱光学 | 79.81 | 0.20 | 3.26 | 359 |
| 19 | 301392 | 汇成真空 | 77.42 | 0.60 | 3.16 | 223 |
| 20 | 603986 | 兆易创新 | 42.85 | 0.20 | 1.75 | 2841 |