0.2932% | 全部持股 |
| 序号 | 证券代码 | 证券简称 | 持仓市值(元) | 持仓数量(股) | 占基金净值比例(股) | 其它基金持有(股) |
| 1 | 688012 | 中微公司 | 1,952.04 | 13.82 | 10.11 | 1827 |
| 2 | 688120 | 华海清科 | 1,914.72 | 10.10 | 9.92 | 787 |
| 3 | 300666 | 江丰电子 | 1,903.30 | 40.02 | 9.86 | 236 |
| 4 | 688072 | 拓荆科技 | 1,820.07 | 15.15 | 9.43 | 754 |
| 5 | 688596 | 正帆科技 | 1,716.23 | 52.01 | 8.89 | 479 |
| 6 | 300260 | 新莱应材 | 1,642.70 | 78.45 | 8.51 | 267 |
| 7 | 688037 | 芯源微 | 1,479.17 | 16.62 | 7.66 | 542 |
| 8 | 688409 | 富创精密 | 1,460.14 | 39.53 | 7.56 | 313 |
| 9 | 003043 | 华亚智能 | 1,064.28 | 27.89 | 5.51 | 12 |
| 10 | 688123 | 聚辰股份 | 647.60 | 10.65 | 3.35 | 454 |
| 11 | 300502 | 新易盛 | 463.36 | 4.39 | 2.40 | 2138 |
| 12 | 300394 | 天孚通信 | 433.26 | 4.90 | 2.24 | 1709 |
| 13 | 688361 | 中科飞测 | 374.99 | 7.93 | 1.94 | 441 |
| 14 | 002463 | 沪电股份 | 371.57 | 10.18 | 1.92 | 2202 |
| 15 | 300308 | 中际旭创 | 347.46 | 2.52 | 1.80 | 2822 |
| 16 | 688019 | 安集科技 | 326.46 | 2.60 | 1.69 | 613 |
| 17 | 688717 | 艾罗能源 | 14.98 | 0.32 | 0.08 | 731 |
| 18 | 603285 | 键邦股份 | 1.88 | 0.10 | 0.01 | 3627 |
| 19 | 688691 | 灿芯股份 | 1.05 | 0.02 | 0.01 | 3750 |
| 20 | 301566 | 达利凯普 | 0.98 | 0.06 | 0.01 | 3279 |
| 21 | 301392 | 汇成真空 | 0.91 | 0.02 | 0.00 | 3218 |
| 22 | 301565 | 中仑新材 | 0.87 | 0.05 | 0.00 | 3307 |
| 23 | 688709 | 成都华微 | 0.72 | 0.04 | 0.00 | 3607 |
| 24 | 301578 | 辰奕智能 | 0.61 | 0.02 | 0.00 | 1663 |
| 25 | 688695 | 中创股份 | 0.59 | 0.02 | 0.00 | 3783 |
| 26 | 688530 | 欧莱新材 | 0.55 | 0.03 | 0.00 | 3246 |
| 27 | 601033 | 永兴股份 | 0.46 | 0.03 | 0.00 | 3108 |
| 28 | 688584 | 上海合晶 | 0.45 | 0.03 | 0.00 | 3044 |
| 29 | 603341 | 龙旗科技 | 0.34 | 0.01 | 0.00 | 3319 |
| 30 | 603344 | 星德胜 | 0.30 | 0.01 | 0.00 | 3338 |
| 31 | 603082 | 北自科技 | 0.28 | 0.01 | 0.00 | 3898 |
| 32 | 001387 | 雪祺电气 | 0.26 | 0.02 | 0.00 | 3371 |
| 33 | 603325 | 博隆技术 | 0.25 | 0.00 | 0.00 | 3556 |
| 34 | 001379 | 腾达科技 | 0.22 | 0.02 | 0.00 | 3183 |
| 35 | 603312 | 西典新能 | 0.22 | 0.01 | 0.00 | 3987 |
| 36 | 603381 | 永臻股份 | 0.21 | 0.01 | 0.00 | 3796 |